Hydrogen gettering in annealed oxygen-implanted silicon

Hydrogen gettering in annealed oxygen-implanted silicon

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2010
Hauptverfasser:	A. Misiuk, A. Barcz, A. Ulyashin, I. V. Antonova, M. Prujszczyk
Format:	Artikel
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2010
Schriftenreihe:	Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000349239
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