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Complex destruction of near-surface silicon layers of Si-SiO2 structure

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2010
Hauptverfasser:	I. R. Yatsunskiy, O. A. Kulinich
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2010
Schriftenreihe:	Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000349387
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Назва журналу:	Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine \| LibNAS

Institution

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