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Investigation of composition and structure of films based on Si-Ge alloys by nuclear-physical methods of analysis on proton beams

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2010
Hauptverfasser:	V. V. Levenets, A. A. Shchur, B. M. Shirokov
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2010
Schriftenreihe:	Physical surface engineering
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000877905
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