Semenova, S. E., & Semenov, E. I. (2006). Photometric monitoring of etching rate of thin dielectric films.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Semenova, S. E., und E. I. Semenov. Photometric Monitoring of Etching Rate of Thin Dielectric Films. 2006.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Semenova, S. E., und E. I. Semenov. Photometric Monitoring of Etching Rate of Thin Dielectric Films. 2006.
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