Semenova, S. E., & Semenov, E. I. (2006). Photometric monitoring of etching rate of thin dielectric films.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Semenova, S. E., та E. I. Semenov. Photometric Monitoring of Etching Rate of Thin Dielectric Films. 2006.
Стиль цитування MLA (8-ме видання)Semenova, S. E., та E. I. Semenov. Photometric Monitoring of Etching Rate of Thin Dielectric Films. 2006.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.