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Photometric monitoring of etching rate of thin dielectric films

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2006
Hauptverfasser:	S. E. Semenova, E. I. Semenov
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2006
Schriftenreihe:	Technology and design in electronic equipment
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000455196
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