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Minimization of measurement error of integrated pressure sensor with media separating diaphragm

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2006
Hauptverfasser:	G. G. Babichev, E. A. Zinchenko, S. I. Kozlovskij, V. V. Nedostup, V. A. Romanov, N. N. Sharan
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2006
Schriftenreihe:	Technology and design in electronic equipment
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000455223
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