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Influence of the plasma chemical etching on the silicon plates surface of photo electric converters

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2006
Hauptverfasser:	B. P. Polozov, O. A. Fedorovich, V. N. Golotjuk, A. A. Marinenko, D. V. Lukomskij
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2006
Schriftenreihe:	Technology and design in electronic equipment
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000455229
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Назва журналу:	Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine \| LibNAS

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