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The structure peculiarities of semiconductor vibration-frequency sensors

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	1998
Hauptverfasser:	R. I. Bajtsar, V. S. Rak
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	1998
Schriftenreihe:	Technology and design in electronic equipment
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000455336
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