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Mathematical model of inductor field effect on coefficient of impurity distribution in silicon

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2009
Hauptverfasser:	S. G. Egorov, I. F. Chervonyj, R. N. Voljar
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2009
Schriftenreihe:	Electrometallurgy Today
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000466672
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