Farenik, V. I. (2004). High-frequency discharges of low pressure in vacuum-plasma technology of low power-consuming for microstructure etching.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Farenik, V. I. High-frequency Discharges of Low Pressure in Vacuum-plasma Technology of Low Power-consuming for Microstructure Etching. 2004.
Стиль цитування MLA (8-ме видання)Farenik, V. I. High-frequency Discharges of Low Pressure in Vacuum-plasma Technology of Low Power-consuming for Microstructure Etching. 2004.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.