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Reactive ion-beam synthesis of thin films directly from ion biam

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2003
Hauptverfasser:	K. A. Valiev, Ju. P. Maishev, S. L. Shevchuk
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2003
Schriftenreihe:	Physical surface engineering
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000849878
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