Reactive ion-beam synthesis of thin films directly from ion biam
Збережено в:
Дата: | 2003 |
---|---|
Автори: | K. A. Valiev, Ju. P. Maishev, S. L. Shevchuk |
Формат: | Стаття |
Мова: | English |
Опубліковано: |
2003
|
Назва видання: | Physical surface engineering |
Онлайн доступ: | http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000849878 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Репозиторії
Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNASСхожі ресурси
-
Synthesis of thin-film Ta₂O₅ coatings by reactive magnetron sputtering
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2016) -
The influence of substrate temperature on properties of Cu-Al-O films deposited using the reactive ion beam sputtering method
за авторством: A. I. Ievtushenko, та інші
Опубліковано: (2017) -
Synthesis of robust controller for ion beam shepherd control system
за авторством: S. V. Khoroshilov
Опубліковано: (2017) -
Ion-plasma system for reactive magnetron deposition
за авторством: S. D. Yakovin, та інші
Опубліковано: (2014) -
Nano-size phase formation at acoustically stimulated ion beam synthesis
за авторством: V. G. Litovchenko, та інші
Опубліковано: (2015)