Simulation of the ignition of alow pressure rf capacitive discharge
Gespeichert in:
| Datum: | 2003 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
2003
|
| Schriftenreihe: | Physical surface engineering |
| Online Zugang: | http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000849879 |
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| Назва журналу: | Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS |