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Simulation of the ignition of alow pressure rf capacitive discharge

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2003
Hauptverfasser:	V. A. Lisovskiy, J.-P. Booth
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2003
Schriftenreihe:	Physical surface engineering
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000849879
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