The investigation of RF discharge in the procession-plasma method by coating films
Збережено в:
| Дата: | 2003 |
|---|---|
| Автори: | V. I. Gritsenko, V. M. Beresnev, O. M. Shvets |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
2003
|
| Назва видання: | Physical surface engineering |
| Онлайн доступ: | http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000849880 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS |
Репозитарії
Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNASСхожі ресурси
Theoretical and experimental investigation of the plasma source with argon RF barrier discharge at atmospheric pressure
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2014)
Plasma sterilization in low-pressure RF discharge
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2000)
Production of metal and dielectric films in a combined RF and arc discharge
за авторством: Gasilin, V.V., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Gasilin, V.V., та інші
Опубліковано: (2003)
Influence of dust particles on RF-discharge plasma afterglow
за авторством: Kravchenko, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Kravchenko, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2015)
Characterisation of Element Distribution in Films and Coatings with RF GDOES and TOFMS™ Methods
за авторством: P. Chapon, та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: P. Chapon, та інші
Опубліковано: (2012)
2-D electron system in the RF-discharge plasma. Part II. similarity of TDES in a solid and in the RF discharge
за авторством: Berezhnyj, V.L., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Berezhnyj, V.L., та інші
Опубліковано: (2019)
Plasma cleaning of technological chambers in rf capacitive discharges
за авторством: V. Lisovskij, та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: V. Lisovskij, та інші
Опубліковано: (2004)
Stochastic heating of electrons in capacitive RF discharges by plasma oscillations
за авторством: Manuilenko, O.V.
Опубліковано: (2012)
за авторством: Manuilenko, O.V.
Опубліковано: (2012)
Coating in the arc discharges with plasma flow filtration
за авторством: Gasilin, V. V., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Gasilin, V. V., та інші
Опубліковано: (2006)
Development of Technology for Vacuum Surface Conditioning by RF Plasma Discharge Combined with DC Discharge
за авторством: Yu. V. Kovtun, та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Yu. V. Kovtun, та інші
Опубліковано: (2021)
Deposition of nanocrystalline silicon films into low frequency induction RF discharge
за авторством: Deryzemlia, A.M., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Deryzemlia, A.M., та інші
Опубліковано: (2014)
The qualitative analysis of the composition of the RF discharge plasma by means of mass-spectrometry
за авторством: Hladkovskiy, V.V., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Hladkovskiy, V.V., та інші
Опубліковано: (2016)
Plasma parameters evolution during conditioning RF discharges in Uragan-2M torsatron
за авторством: Skibenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Skibenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2009)
Spectroscopic studies of RF discharge plasma at plasma-chemical etching of gallium nitride epitaxial structures
за авторством: V. V. Hladkovskiy, та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: V. V. Hladkovskiy, та інші
Опубліковано: (2017)
Spectroscopic studies of RF discharge plasma at plasma-chemical etching of gallium nitride epitaxial structures
за авторством: V. V. Hladkovskiy, та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: V. V. Hladkovskiy, та інші
Опубліковано: (2017)
Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2018)
2-D electron system in the RF-discharge plasma. Part I. General observations
за авторством: Berezhnyj, V.L., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Berezhnyj, V.L., та інші
Опубліковано: (2018)
Basic plasma features of planar jet formed by capacitive RF discharge in atmosphere pressure argon
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2019)
Coatings obtained by deposition of refractory compounds from flows of vacuum-arc metallical plasma
за авторством: V. M. Beresnev, та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: V. M. Beresnev, та інші
Опубліковано: (2003)
Numerical simulation of nanoparticles coagulation in RF-discharge
за авторством: Kravchenko, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Kravchenko, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2016)
Some aspects of deposition of conductive, dielectric and protective coatings on insulators with using arc discharge dc and RF bias
за авторством: Taran, V.S., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Taran, V.S., та інші
Опубліковано: (2017)
Influence of movable B₄C-limiter on characteristics of RF discharge plasma in the Uragan-2M torsatron
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2019)
Ignition and properties of RF capacitive discharge in acetylene
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2019)
RF discharge in argon with cylindrical dust particles
за авторством: Chutov, Yu.I., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Chutov, Yu.I., та інші
Опубліковано: (2005)
Dissociative mode in low-pressure RF discharge
за авторством: V. A. Lisovskij
Опубліковано: (2006)
за авторством: V. A. Lisovskij
Опубліковано: (2006)
Simulation of capacitively coupled RF discharge in argon
за авторством: Lisovskiy, V., та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: Lisovskiy, V., та інші
Опубліковано: (2023)
Growth rate of diamond-like coatings synthesized in RF discharge at various ratios of the concentrations of Ar and C₆H₆
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2021)
Influence of the frame-type antenna on the RF-discharge peripheral plasma parameters in the Uragan-3M torsatron
за авторством: Leleko, Ya.F., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Leleko, Ya.F., та інші
Опубліковано: (2017)
Radial distributions of RF discharge plasma parameters and radial electric field in the Uragan-3M torsatron
за авторством: Volkov, E.D., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Volkov, E.D., та інші
Опубліковано: (2000)
Simulation of the ignition of alow pressure rf capacitive discharge
за авторством: V. A. Lisovskiy, та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: V. A. Lisovskiy, та інші
Опубліковано: (2003)
Investigation of nonequilibrium in plasma of ARC discharge between melting electrodes
за авторством: Fesenko, S.O., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Fesenko, S.O., та інші
Опубліковано: (2018)
Plasma density measurement of RF ion source
за авторством: Voznyy, V.I., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Voznyy, V.I., та інші
Опубліковано: (2005)
Investigation of parameters of the working substance - low temperature plasma in the ionization resonator chamber of the RF reactive engine
за авторством: Vdovin, V.S., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Vdovin, V.S., та інші
Опубліковано: (2003)
Experimental investigation of peculiarities of the beam-plasma discharge initial stage
за авторством: Ivanov, B.I., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Ivanov, B.I., та інші
Опубліковано: (2008)
Efficiency of the nitriding process in glow discharge plasma
за авторством: Zhovtyansky, V.A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Zhovtyansky, V.A., та інші
Опубліковано: (2011)
Dusty RF discharges with non-uniform distributions of dust particles
за авторством: Chutov, Yu.I., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Chutov, Yu.I., та інші
Опубліковано: (2003)
Investigation of jumping pulsed electrical discharge for plasma chemistry application
за авторством: Berezina, G.P., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Berezina, G.P., та інші
Опубліковано: (2002)
Low frequency oscillations in U-2M conditioning RF discharges
за авторством: Dreval, M.B., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Dreval, M.B., та інші
Опубліковано: (2018)
Erosion behavior of W-Ta coatings in plasmas of stationary mirror Penning discharges
за авторством: Belous, V.A., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Belous, V.A., та інші
Опубліковано: (2017)
Nanocrystalline coatings by vacuum-arc method with usage of high frequency voltage
за авторством: P. V. Turbin, та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: P. V. Turbin, та інші
Опубліковано: (2006)
Схожі ресурси
-
Theoretical and experimental investigation of the plasma source with argon RF barrier discharge at atmospheric pressure
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2014) -
Plasma sterilization in low-pressure RF discharge
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2000) -
Production of metal and dielectric films in a combined RF and arc discharge
за авторством: Gasilin, V.V., та інші
Опубліковано: (2003) -
Influence of dust particles on RF-discharge plasma afterglow
за авторством: Kravchenko, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2015) -
Characterisation of Element Distribution in Films and Coatings with RF GDOES and TOFMS™ Methods
за авторством: P. Chapon, та інші
Опубліковано: (2012)