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Ion beam technologies of surface modification. I. Ion cleaning and high dose implantation

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2003
Hauptverfasser:	V. A. Belous, V. I. Lapshin, I. G. Marchenko, I. M. Nekljudov
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2003
Schriftenreihe:	Physical surface engineering
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000849881
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