Ion beam technologies of surface modification. I. Ion cleaning and high dose implantation
Gespeichert in:
| Datum: | 2003 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | V. A. Belous, V. I. Lapshin, I. G. Marchenko, I. M. Nekljudov |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
2003
|
| Schriftenreihe: | Physical surface engineering |
| Online Zugang: | http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000849881 |
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| Назва журналу: | Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS |
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