Voznyj, A. V., Jam, D. J., Kropotov, J., & Farenik, V. I. (2006). Formation of neutral atomic beam for dry etching and study its charachteristics.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Voznyj, A. V., Dzh. Ju Jam, Ju Kropotov, und V. I. Farenik. Formation of Neutral Atomic Beam for Dry Etching and Study Its Charachteristics. 2006.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Voznyj, A. V., et al. Formation of Neutral Atomic Beam for Dry Etching and Study Its Charachteristics. 2006.
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