Formation of neutral atomic beam for dry etching and study its charachteristics

Formation of neutral atomic beam for dry etching and study its charachteristics

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2006
Автори:	A. V. Voznyj, Dzh. Ju. Jam, Ju. Kropotov, V. I. Farenik
Формат:	Стаття
Мова:	English
Опубліковано:	2006
Назва видання:	Physical surface engineering
Онлайн доступ:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000855337
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine \| LibNAS

Репозитарії

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Схожі ресурси

High voltage beam discharge in nitrogen with fast neutral atom reflection from tantalum cathode
за авторством: Boldasov, V.S., та інші
Опубліковано: (2021)

High-frequency discharges of low pressure in vacuum-plasma technology of low power-consuming for microstructure etching
за авторством: V. I. Farenik
Опубліковано: (2004)

Experimental research of ICP reactor for plasma-chemical etching
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2006)

The bias voltage and its influence on the etching rate of silicon
за авторством: Fedorovich, О.А., та інші
Опубліковано: (2015)

Creep and damage of moderately thick shallow shells and plates from materials with charachteristics depending from type of loading
за авторством: S. N. Sklepus
Опубліковано: (2010)

The beam space charge neutralization in UNDULAC-E
за авторством: Masunov, E.S., та інші
Опубліковано: (2010)

An Example of Neutrally Nonwandering Points for the Inner Mappings that are Not Neutrally Recurrent
за авторством: Ju. Vlasenko
Опубліковано: (2015)

Diffusion of hydrogen in rare gas solids: neutral H atoms and H⁺ protons
за авторством: Beyer, M., та інші
Опубліковано: (1999)

Ion beam space charge neutralization using for beam intensity increase in linacs
за авторством: Polozov, S.M.
Опубліковано: (2012)

TiN coating etching from a surface of the instrument in beam-plasma system
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2000)

Examples of internal maps of the cylinder with neutral wandering points being not neutral recurrent
за авторством: Ju. Vlasenko, та інші
Опубліковано: (2015)

High-density data recording via laser thermo-lithography and ion-beam etching
за авторством: I. V. Gorbov, та інші
Опубліковано: (2014)

High-density data recording via laser thermo-lithography and ion-beam etching
за авторством: Gorbov, I.V., та інші
Опубліковано: (2014)

Technological principles of drying into layer fluidizated and its application for kaolin dry enrichment
за авторством: N. A. Dvornikov
Опубліковано: (2018)

Formation of atomic composition of A3B5 heterostructures at ionized beam epitaxy
за авторством: V. G. Verbitskij, та інші
Опубліковано: (2004)

Nanodimensional formations on the CdTe and ZnₓCd₁₋ₓTe surfaces at chemical etching
за авторством: Tomashyk, Z.F., та інші
Опубліковано: (2008)

On the possibility for the resonance ELM-generation mechanism by the injection of the neutral particle beam in tokamak
за авторством: Gordeev, A.V.
Опубліковано: (2007)

Obtaining porous silicon suitable for sensor technology using MacEtch nonelectrolytic etching
за авторством: I. R. Jatsunskij
Опубліковано: (2013)

Development of plasma methods for the synthesis of fullerenes
за авторством: V. G. Udovitskij, та інші
Опубліковано: (2012)

Manipulative technologies in modern information processes and problems of its neutralization
за авторством: S. V. Gorovaja
Опубліковано: (2016)

State of iodine in acidic and neutral aqueous solutions and its effect on iodine sorption by foamed polyurethane
за авторством: O. M. Trokhimenko, та інші
Опубліковано: (2014)

Charged and neutral particles beams application for research of accumulation routes of the medical radioisotope ¹⁰³Pd
за авторством: Hryhorenko, V.O.
Опубліковано: (2023)

Photostimulated etching of germanium chalcogenide films
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2012)

Photostimulated etching of germanium chalcogenide films
за авторством: Dan’ko, V.A., та інші
Опубліковано: (2012)

Investigation of the process of microrelief structures formation in chromium films based on the method of chemical etching
за авторством: A. V. Pankratova, та інші
Опубліковано: (2021)

Receipt and transportation of ion beams of low and average energy
за авторством: V. I. Farenik
Опубліковано: (2005)

Obtaining periodic layers GaAs by electrochemical etching
за авторством: A. F. Djadenchuk, та інші
Опубліковано: (2014)

Investigation of the process of microrelief structures formation in chromium films based on the method of chemical etching
за авторством: Панкратова, А. В., та інші
Опубліковано: (2021)

The study of processes electron beam formation in magnetron gun with secondary emission metallic cathodes
за авторством: Ajzatskiy, N.I., та інші
Опубліковано: (1999)

A study of stability in the case of a neutral linear approximation
за авторством: D. V. Belskij
Опубліковано: (2015)

Spectroscopic studies of RF discharge plasma at plasma-chemical etching of gallium nitride epitaxial structures
за авторством: V. V. Hladkovskiy, та інші
Опубліковано: (2017)

Spectroscopic studies of RF discharge plasma at plasma-chemical etching of gallium nitride epitaxial structures
за авторством: V. V. Hladkovskiy, та інші
Опубліковано: (2017)

Photoinduced etching of thin films of chalcogenide glasses
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2012)

Application of multicomponent cathodes obtained by electron-beam smelting for the formation of superhard nanocomposite coatings
за авторством: V. M. Beresnev, та інші
Опубліковано: (2013)

Drying of grain in active regimes taking into account its stratified structure
за авторством: B. Haivas, та інші
Опубліковано: (2016)

Study of Dry and Wet Cement Mortar Dynamic Properties
за авторством: Bragov, А., та інші
Опубліковано: (2002)

Periodic Modulations of Magnetostatic Field in Ferromagnetic Cylinder and Their Influence on Etching Figure Formation in Acid Solutions
за авторством: Dzhezherya, Yu.I., та інші
Опубліковано: (2016)

Cold gases of neutral atoms in laser fields — new systems for quantum computing, understanding and predictions of unique physical phenomena
за авторством: A. G. Sotnikov
Опубліковано: (2024)

Mapping between two models of etching process
за авторством: Patsahan, T., та інші
Опубліковано: (2007)

Potential of the DRI Tecnologies and Directions of its Usage in Iron and Steel Production (Reviw)
за авторством: V. I. Rudyka
Опубліковано: (2017)