Dissociative mode in low-pressure RF discharge
Збережено в:
Дата: | 2006 |
---|---|
Автор: | V. A. Lisovskij |
Формат: | Стаття |
Мова: | English |
Опубліковано: |
2006
|
Назва видання: | Physical surface engineering |
Онлайн доступ: | http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000855345 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS |
Репозитарії
Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNASСхожі ресурси
-
Plasma sterilization in low-pressure RF discharge
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2000) -
Simulation oh the ignition of a low pressure rf capacitive discharge
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2003) -
Influence of component content of Ar/O₂ mixture on oxygen dissociation degree in plasma of low pressure discharge with hollow cathode
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2015) -
The energy balance of the asymmetric combined inductive-capacitive RF discharge at low pressure
за авторством: Zykov, A.V., та інші
Опубліковано: (2003) -
Kinetic simulation of low pressure RF discharge in nonuniform axisymmetric magnetic field
за авторством: Olshansky, V.V.
Опубліковано: (2012)