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Dissociative mode in low-pressure RF discharge

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2006
1. Verfasser:	V. A. Lisovskij
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2006
Schriftenreihe:	Physical surface engineering
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000855345
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