Dudin, S. V. (2006). Automated system for real-time control of plasma-chemical etching process in ICP.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Dudin, S. V. Automated System for Real-time Control of Plasma-chemical Etching Process in ICP. 2006.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Dudin, S. V. Automated System for Real-time Control of Plasma-chemical Etching Process in ICP. 2006.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.