Зображення обкладинки

Automated system for real-time control of plasma-chemical etching process in ICP

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2006
Автор:	S. V. Dudin
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	2006
Назва видання:	Physical surface engineering
Онлайн доступ:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000855346
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine \| LibNAS

Репозитарії

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Схожі ресурси

Experimental research of ICP reactor for plasma-chemical etching
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2006)

Automation of measurements of the rate of thin films chemical etching
за авторством: Іваницький, В. П., та інші
Опубліковано: (2024)

Plasma etching of gallium nitride based heterostructures in production of optoelectronic devices
за авторством: S. V. Dudin
Опубліковано: (2006)

Actinometric study of oxygen dissociation in ICP source
за авторством: Dakhov, A.N., та інші
Опубліковано: (2014)

Investigation of the influence of oxygen on the rate and anisotropy of deep etching of silicon in the plasma-chemical reactor with the controlled magnetic field
за авторством: V. V. Gladkovskij, та інші
Опубліковано: (2017)

Research and development of technological systems based on high-frequency induction discharge for reactive ion-plasma etching of micro- and nanostructures
за авторством: S. V. Dudin
Опубліковано: (2009)

Spectroscopic studies of RF discharge plasma at plasma-chemical etching of gallium nitride epitaxial structures
за авторством: V. V. Hladkovskiy, та інші
Опубліковано: (2017)

Spectroscopic studies of RF discharge plasma at plasma-chemical etching of gallium nitride epitaxial structures
за авторством: V. V. Hladkovskiy, та інші
Опубліковано: (2017)

Features of plasma chemical etching of lithium tantalate substrate (LiTaO₃)
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2021)

Influence of the plasma chemical etching on the silicon plates surface of photo electric converters
за авторством: B. P. Polozov, та інші
Опубліковано: (2006)

Control of Time Scale Dynamical Systems with an Application to Concurrency Control for Real-time Database Systems
за авторством: Ramesh Babu, N., та інші
Опубліковано: (2010)

Automated control systems of the drilling process
за авторством: A. A. Kozhevnikov, та інші
Опубліковано: (2018)

Perception and Image Processing in Real Time Systems
за авторством: V. P. Boiun
Опубліковано: (2013)

Plasma potential influence on ion energy istribution function in icp source
за авторством: O. V. Vozniy, та інші
Опубліковано: (2007)

Plasma potential influence on ion energy Distribution function in ICP source
за авторством: Vozniy, O.V., та інші
Опубліковано: (2007)

Modelling of automated working time control systems in educational institutions
за авторством: V. V. Kolenko, та інші
Опубліковано: (2020)

Automated control system of technological process of applying wear-resistant coatings by ion-plasma method
за авторством: V. M. Tonkonogij, та інші
Опубліковано: (2020)

Increase of parallel data processing effectiveness and control of real-time multiprocessor computer system failure
за авторством: V. I. Zhabin
Опубліковано: (2015)

Real-time system for processing regime diagnostic on accelerator
за авторством: Yeran, L.V., та інші
Опубліковано: (2004)

Investigation of the process of microrelief structures formation in chromium films based on the method of chemical etching
за авторством: A. V. Pankratova, та інші
Опубліковано: (2021)

Investigation of the process of microrelief structures formation in chromium films based on the method of chemical etching
за авторством: Панкратова, А. В., та інші
Опубліковано: (2021)

2D fluid model for interactive development of ICP technological tools
за авторством: Gapon, A.V., та інші
Опубліковано: (2006)

Automated method for determining the etch pits density on crystallographic planes of large semiconductor crystals
за авторством: G. S. Pekar, та інші
Опубліковано: (2016)

Nanodimensional formations on the CdTe and ZnₓCd₁₋ₓTe surfaces at chemical etching
за авторством: Tomashyk, Z.F., та інші
Опубліковано: (2008)

Optimization of conditions for treatment of ZnSe crystal surfaces by chemical etching
за авторством: V. M. Tomashyk, та інші
Опубліковано: (2013)

Optimization of conditions for treatment of ZnSe crystal surfaces by chemical etching
за авторством: Tomashyk, V.M., та інші
Опубліковано: (2013)

Plasma-Chemical Process Control of Water Purification from Persistent Organic Pollution
за авторством: S. V. Petrov, та інші
Опубліковано: (2019)

TiN coating etching from a surface of the instrument in beam-plasma system
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2000)

Hibrid approach to processing incomplete stream data in distributed real-time systems
за авторством: Zhyliuk, Y., та інші
Опубліковано: (2025)

Methods and devices for parallel real time information processing
за авторством: H. T. Cherchyk
Опубліковано: (2014)

Development of deep silicon plasma etching for 3D integration technology
за авторством: A. A. Golishnikov, та інші
Опубліковано: (2014)

Information Modeling of Complex Automated Process Control Systems, Based on Mivar Technology
за авторством: G. S. Sergushin, та інші
Опубліковано: (2013)

Program support and task planning in real-time systems
за авторством: S. V. Zinchenko, та інші
Опубліковано: (2017)

System of automated software control of the antenna system of the satellite
за авторством: Yehorov, Volodymyr O.
Опубліковано: (2024)

Automated process control of evaporation for assortment product of food industry
за авторством: V. V. Ivashchuk, та інші
Опубліковано: (2016)

Optimization of Processes of Managerial Decision-Making Using Real-Time Reporting
за авторством: N. V. Katkova, та інші
Опубліковано: (2018)

System of Organizational Control of the Automated Objects with the Increased Vitalit
за авторством: A. G. Dodonov, та інші
Опубліковано: (2018)

Modeling of information recording and selective etching processes in inorganic resists
за авторством: Morozovska, A.N., та інші
Опубліковано: (2005)

Highly productive real-time systems for the large-scale applications
за авторством: S. V. Zinchenko
Опубліковано: (2014)

Service-oriented, distributed real-time systems in digital libraries
за авторством: Novitsky, O.V.
Опубліковано: (2025)