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Installation for gas-phase deposition of materials

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2007
Hauptverfasser:	A. F. Korzh, Ju. F. Lonin, Ju. O. Pilipets, N. A. Khovanskij, V. I. Sheremet, B. M. Shirokov
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2007
Schriftenreihe:	Physical surface engineering
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000858414
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