Development of arc suppression technique for reactive magnetron sputtering

Development of arc suppression technique for reactive magnetron sputtering

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2005
Hauptverfasser:	S. V. Dudin, V. I. Farenik, A. N. Dahov, J. Walkowicz
Format:	Artikel
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2005
Schriftenreihe:	Physical surface engineering
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000859378
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