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Influence of spattering regimes and spattering system geometry on the thickness and composition of prepared films

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2005
Hauptverfasser:	V. V. Petukhov, A. A. Goncharov, V. A. Konovalov, D. N. Terpij, V. A. Stupak
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2005
Schriftenreihe:	Physical surface engineering
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000859385
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