Influence of spattering regimes and spattering system geometry on the thickness and composition of prepared films

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2005
Автори:	V. V. Petukhov, A. A. Goncharov, V. A. Konovalov, D. N. Terpij, V. A. Stupak
Формат:	Стаття
Мова:	English
Опубліковано:	2005
Назва видання:	Physical surface engineering
Онлайн доступ:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000859385
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!

Репозиторії

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Будьте першим, хто залишить коментар!