Studying on a beam of protons film of alloy Si-Ge, received by method CVD

Studying on a beam of protons film of alloy Si-Ge, received by method CVD

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2007
Hauptverfasser:	I. K. Kovalchuk, V. V. Levenets, A. P. Omelnik, A. A. Shchur, B. M. Shirokov
Format:	Artikel
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2007
Schriftenreihe:	Physical surface engineering
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000867748
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