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Ion-beam deposition of ultrathin metall nitride and oxynitride films process stabilization

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2008
Hauptverfasser:	A. V. Derevjanko, A. N. Stervoedov, Ju. Silkin
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2008
Schriftenreihe:	Physical surface engineering
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000867772
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