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The formation of isolating and gettering layers in semiconductors with use of medium energy proton implantation

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2008
Hauptverfasser:	F. F. Komarov, O. V. Milchanin, A. M. Mironov, A. I. Kupchishin
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2008
Schriftenreihe:	Physical surface engineering
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000872884
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