The formation of isolating and gettering layers in semiconductors with use of medium energy proton implantation
Збережено в:
| Дата: | 2008 |
|---|---|
| Автори: | F. F. Komarov, O. V. Milchanin, A. M. Mironov, A. I. Kupchishin |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
2008
|
| Назва видання: | Physical surface engineering |
| Онлайн доступ: | http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000872884 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS |
Репозитарії
Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNASСхожі ресурси
Hydrogen gettering in annealed oxygen-implanted silicon
за авторством: A. Misiuk, та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: A. Misiuk, та інші
Опубліковано: (2010)
Hydrogen gettering in annealed oxygen-implanted silicon
за авторством: Misiuk, A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Misiuk, A., та інші
Опубліковано: (2010)
Influence of gettering on aluminum ohmic contact formation
за авторством: V. N. Litvinenko, та інші
Опубліковано: (2020)
за авторством: V. N. Litvinenko, та інші
Опубліковано: (2020)
Ion synthesis of narrow-bandgap A3V5 semiconductor nanocrystals in silicon matrix for optoelectronics systems
за авторством: F. F. Komarov, та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: F. F. Komarov, та інші
Опубліковано: (2011)
Characteristics of gettering process in multicrystalline Si wafers with combined porous Si/Al getters
за авторством: A. Sarikov, та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: A. Sarikov, та інші
Опубліковано: (2012)
Characteristics of gettering process in multicrystalline Si wafers with combined porous Si/Al getters
за авторством: Sarikov, A., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Sarikov, A., та інші
Опубліковано: (2012)
Semiempirical energies of vacancy formation in semiconductors
за авторством: I. V. Horichok, та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: I. V. Horichok, та інші
Опубліковано: (2016)
Semiempirical energies of vacancy formation in semiconductors
за авторством: I. V. Horichok, та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: I. V. Horichok, та інші
Опубліковано: (2016)
Application in a linear proton accelerator of a non-vaporizable Zr(86)-Al(14) getter located inside the chamber of a plasma-ion proton injector for its additional pumping
за авторством: Aksonova, A.M., та інші
Опубліковано: (2022)
за авторством: Aksonova, A.M., та інші
Опубліковано: (2022)
Formation of ickel-platinum silicide layer as a barrier Schottky diodes
за авторством: P. V. Kuchinskij, та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: P. V. Kuchinskij, та інші
Опубліковано: (2014)
Enhancing parameters of silicon varactors using laser gettering
за авторством: I. M. Vikulin, та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: I. M. Vikulin, та інші
Опубліковано: (2018)
Enhancing parameters of silicon varactors using laser gettering
за авторством: Vikulin, I.M., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Vikulin, I.M., та інші
Опубліковано: (2018)
Investigations of impurity gettering in multicrystalline silicon
за авторством: Evtukh, A.A., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Evtukh, A.A., та інші
Опубліковано: (2001)
Composite materials formation for orthopaedic implants
за авторством: Avilov, A.M., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Avilov, A.M., та інші
Опубліковано: (2004)
Improvement of the reverse characteristics of Schottky diodes using gettering
за авторством: V. N. Litvinenko, та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: V. N. Litvinenko, та інші
Опубліковано: (2019)
Improving parameters of planar pulse diode using gettering
за авторством: V. M. Lytvynenko, та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: V. M. Lytvynenko, та інші
Опубліковано: (2021)
Improvement of the reverse characteristics of Schottky diodes using gettering
за авторством: Litvinenko, V.N., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Litvinenko, V.N., та інші
Опубліковано: (2019)
Interaction of low-energy protons with aluminum surface
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2019)
Research of formation of apatite-like layer on the surface of glass-ceramic coatings for dental implants
за авторством: Savvova, O.V., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Savvova, O.V., та інші
Опубліковано: (2018)
Atomic nucleus Coulomb energy and modification of protons
за авторством: Buki, A.Yu.
Опубліковано: (2001)
за авторством: Buki, A.Yu.
Опубліковано: (2001)
On features of deoxidization of CsI melt with zirconium getter
за авторством: Datsko, Yu.N., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Datsko, Yu.N., та інші
Опубліковано: (2016)
Investigation of two-proton decay using modified formation probability
за авторством: N. P.Saeed Abdulla, та інші
Опубліковано: (2024)
за авторством: N. P.Saeed Abdulla, та інші
Опубліковано: (2024)
Formation of multi layer electrospark coatings on iron in the carbonaceous mediums
за авторством: K. M. Khranovska, та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: K. M. Khranovska, та інші
Опубліковано: (2011)
Methods and mechanisms of gettering of silicon structures in the production of integrated circuits
за авторством: V. A. Pilipenko, та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: V. A. Pilipenko, та інші
Опубліковано: (2013)
Increase of planar homogeneity of multi-silicon structures by gettering treatments
за авторством: Litovchenko, V.G., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Litovchenko, V.G., та інші
Опубліковано: (2001)
Transmutation of radioactive waste on low-energy proton accelerators
за авторством: Migalenya, V.Ya., та інші
Опубліковано: (1999)
за авторством: Migalenya, V.Ya., та інші
Опубліковано: (1999)
Structure and formation energy of multiple protonated molecular ions of acridine yellow: quantum-chemical calculations
за авторством: Ye. M. Demianenko, та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Ye. M. Demianenko, та інші
Опубліковано: (2016)
Features of the low energy protons interaction with molibden surface
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2019)
Influence of plasma treatment on erosion haracteristics and structure of reversible hydrogen getters
за авторством: Borisko, V.N., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Borisko, V.N., та інші
Опубліковано: (2000)
Formation of structural heterogeneity of the near-surface layer of films of iron-yttrium granatos by implantation of Si+ ions
за авторством: B. K. Ostafiichuk, та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: B. K. Ostafiichuk, та інші
Опубліковано: (2011)
Energy distributions of protons in D(d, p) reaction
за авторством: O. O. Beliuskina, та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: O. O. Beliuskina, та інші
Опубліковано: (2015)
Curvature of the diffraction cone of proton-proton elastic scattering at high energies in maximal Pomeron and Odderon model
за авторством: Lengyel, O., та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: Lengyel, O., та інші
Опубліковано: (2023)
Propagation of Cylindrical and Spherical Waves in Two-Layer Soil Mediums
за авторством: V. F. Mejsh, та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: V. F. Mejsh, та інші
Опубліковано: (2018)
Two-channel gettering of recombination-active impurity in polycrystalline solar silicon
за авторством: V. G. Litovchenko, та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: V. G. Litovchenko, та інші
Опубліковано: (2012)
Two-channel gettering of recombination-active impurity in polycrystalline solar silicon
за авторством: V. H. Lytovchenko, та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: V. H. Lytovchenko, та інші
Опубліковано: (2012)
Development of alternatives for accelerating structure in the range of intermediate proton energy
за авторством: Bomko, V.A., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Bomko, V.A., та інші
Опубліковано: (2004)
Removability of isolated singularity for solutions of anisotropic porous medium equation with absorption term
за авторством: M. A. Shan
Опубліковано: (2016)
за авторством: M. A. Shan
Опубліковано: (2016)
Removability of isolated singularity for solutions of anisotropic porous medium equation with absorption term
за авторством: Shan, M.A.
Опубліковано: (2016)
за авторством: Shan, M.A.
Опубліковано: (2016)
Generation of MeV -energy protons in WWER reactor core
за авторством: Gann, A.V., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Gann, A.V., та інші
Опубліковано: (2009)
About ultrasound-stimulated a self-organization of defect structures in semiconductors during ion implantation
за авторством: Ya. M. Olikh
Опубліковано: (2013)
за авторством: Ya. M. Olikh
Опубліковано: (2013)
Схожі ресурси
-
Hydrogen gettering in annealed oxygen-implanted silicon
за авторством: A. Misiuk, та інші
Опубліковано: (2010) -
Hydrogen gettering in annealed oxygen-implanted silicon
за авторством: Misiuk, A., та інші
Опубліковано: (2010) -
Influence of gettering on aluminum ohmic contact formation
за авторством: V. N. Litvinenko, та інші
Опубліковано: (2020) -
Ion synthesis of narrow-bandgap A3V5 semiconductor nanocrystals in silicon matrix for optoelectronics systems
за авторством: F. F. Komarov, та інші
Опубліковано: (2011) -
Characteristics of gettering process in multicrystalline Si wafers with combined porous Si/Al getters
за авторством: A. Sarikov, та інші
Опубліковано: (2012)