Structure features and properties of hard Ti-Al-N and superhard Ti-Si-N nanocomposite coatings deposited using PVD in HF discharge

Structure features and properties of hard Ti-Al-N and superhard Ti-Si-N nanocomposite coatings deposited using PVD in HF discharge

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2008
Hauptverfasser:	A. D. Pogrebnjak, V. M. Beresnev, M. V. Iljashenko, S. I. Protsenko, S. N. Dub, P. V. Turbin, G. V. Kirik, A. P. Shipilenko, M. K. Kylyshkanov, V. I. Grishchenko
Format:	Artikel
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2008
Schriftenreihe:	Physical surface engineering
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000872896
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