Low Energy-intensive plasma systems with discharges in combined electric and magnetic fields
Збережено в:
Дата: | 2009 |
---|---|
Автор: | V. I. Farenik |
Формат: | Стаття |
Мова: | English |
Опубліковано: |
2009
|
Назва видання: | Physical surface engineering |
Онлайн доступ: | http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000872968 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS |
Репозитарії
Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNASСхожі ресурси
-
The energy balance of the asymmetric combined inductive-capacitive RF discharge at low pressure
за авторством: Zykov, A.V., та інші
Опубліковано: (2003) -
High-frequency discharges of low pressure in vacuum-plasma technology of low power-consuming for microstructure etching
за авторством: V. I. Farenik
Опубліковано: (2004) -
Discharge characteristics of combined low energy ion source – magnetron sputtering system
за авторством: Zykov, A., та інші
Опубліковано: (2020) -
Ion flows from area of beam plasma discharge at low magnetic field – physics and application
за авторством: Isaev, N.V., та інші
Опубліковано: (2006) -
The experimental research of the electric characteristics of discharge in the quasi-steady plasma accelerator with the longitudinal magnetic field
за авторством: Kozlov, A.N., та інші
Опубліковано: (2009)