Synthesis of dielectric compounds based on a DC magnetron

Synthesis of dielectric compounds based on a DC magnetron

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2009
Hauptverfasser:	O. V. Zykov, S. D. Yakovin, S. V. Dudin
Format:	Artikel
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2009
Schriftenreihe:	Physical surface engineering
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000872970
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