On the features of the process of deposition of ion-plasma coatings based on titanium nitride in the range of nitrogen pressures of 2-10 Pa

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Bibliographische Detailangaben
Datum:2009
Hauptverfasser: V. M. Khoroshikh, S. A. Leonov, V. A. Belous, G. N. Tolmacheva
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: 2009
Schriftenreihe:Physical surface engineering
Online Zugang:http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000873031
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