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A new approach to increasing the sensitivity of a gas sensor based on nanocrystalline silicon carbide films

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2021
Hauptverfasser:	A. Semenov, D. Lubov
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2021
Schriftenreihe:	Technology and design in electronic equipment
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001434748
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