Buchumschlag

Proton beam writing: world experience and prospectives in Ukraine

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2023
Hauptverfasser:	H. Y. Polozhii, O. H. Ponomarov, S. V. Kolinko, V. A. Rebrov, R. O. Shulipa, O. M. Kalinkevych, O. V. Kalinkevych
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2023
Schriftenreihe:	Nuclear physics and atomic energy
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001397236
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Назва журналу:	Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine \| LibNAS

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