Interaction of chalcogenide As4Se96 films with electron beam when used as electronic resists

Interaction of chalcogenide As4Se96 films with electron beam when used as electronic resists

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2020
Автори:	B. V. Bilanych, O. Shylenko, V. M. Latyshev, A. Feher, V. S. Bilanych, V. M. Rizak, V. Komanicky
Формат:	Стаття
Мова:	English
Опубліковано:	2020
Назва видання:	Ukrainian journal of physics
Онлайн доступ:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001127992
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine \| LibNAS

Репозитарії

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Схожі ресурси

Interaction of chalcogenide As4Se96 films with electron beam when used as electronic resists
за авторством: B. V. Bilanych, та інші
Опубліковано: (2020)

Взаємодія халькогенідних плівок As4Se96 з електронним пучком при використанні їх у ролі електронних резистів
за авторством: Bilanych, B. V., та інші
Опубліковано: (2020)

Low-field electron emission and cathode luminescence of piezoelectric films of oxides and chalcogenides
за авторством: Dadykin, A.A., та інші
Опубліковано: (2002)

Features of mechanical scanning probe lithography on graphene oxide and As(Ge)Se chalcogenide resist
за авторством: P. M. Lytvyn, та інші
Опубліковано: (2018)

Quasiparticle electronic band structure of the alkali metal chalcogenides
за авторством: Syrotyuk, S.V., та інші
Опубліковано: (2015)

Materials for optical sensors of X-ray irradiation based on (GaxIn1 – x)2Se3 films
за авторством: M. M. Pop, та інші
Опубліковано: (2022)

Materials for optical sensors of X-ray irradiation based on (GaxIn1 – x)2Se3 films
за авторством: M. M. Pop, та інші
Опубліковано: (2022)

Study of functionality of polymer films by dense electron beams
за авторством: T. V. Kovalinska, та інші
Опубліковано: (2020)

Effect of the film thickness on the effective electron-electron interaction in a metal film
за авторством: P. Kostrobij, та інші
Опубліковано: (2018)

Mechanical properties of Cu 6 PS 5 I superionic crystals and thin films
за авторством: V. V. Bilanych, та інші
Опубліковано: (2019)

Experimental investigations of interaction of supercritical electron beams with plasma
за авторством: Chupikov, P.T., та інші
Опубліковано: (2002)

Interaction of the modulated electron beam with plasma: kinetic effects
за авторством: Anisimov, I.O., та інші
Опубліковано: (2007)

Electron beam melting of heat-resistant alloys on nickel base
за авторством: S. V. Akhonin, та інші
Опубліковано: (2015)

Using non-organic resist based on As-S-Se chalcogenide glasses for combined optical/digital security devices
за авторством: Kostyukevych, S.A., та інші
Опубліковано: (2001)

The instability of hollow electron beam interacting with plasma-like medium
за авторством: Ju. O. Averkov, та інші
Опубліковано: (2016)

Photostimulated etching of germanium chalcogenide films
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2012)

Photostimulated etching of germanium chalcogenide films
за авторством: Dan’ko, V.A., та інші
Опубліковано: (2012)

Oxidation resistance of hard boron-rich chalcogenides B6X and B12X (X = S, Se)
за авторством: V. L. Solozhenko
Опубліковано: (2021)

Structure and properties of the wear-resistant facing modified by electron-beam processing
за авторством: V. E. Kormyshev, та інші
Опубліковано: (2017)

Adhesion of thick carbon films, produced by electron beam evaporation of carbo
за авторством: Ju. A. Kurapov, та інші
Опубліковано: (2015)

Structural properties of chalcogenide glasses As₂Se₃ doped with manganese
за авторством: Paiuk, O.P., та інші
Опубліковано: (2016)

Dielectric relaxation in Se₈₀Ge₂₀ and Se₇₅Ge₂₀Ag₅ chalcogenide glasses
за авторством: Dwivedi, A., та інші
Опубліковано: (2005)

Low-energy high-current electron beam generation in plasma system and beam-plasma interaction
за авторством: Agafonov, A.V., та інші
Опубліковано: (2007)

The nonlinear theory of the electron and ion beames interaction in a supercritical mode
за авторством: Balakirev, V.A., та інші
Опубліковано: (2002)

Photoinduced etching of thin films of chalcogenide glasses
за авторством: V. A. Danko, та інші
Опубліковано: (2012)

Interaction of a relativistic electron beam with electromagnetic fields in azimuthally corrugated waveguide
за авторством: Ognivenko, V.V.
Опубліковано: (2018)

Features of electron beam evaporation under surface electron beam formation
за авторством: Mysiura, I.N., та інші
Опубліковано: (2014)

Low-frequency processes at interaction of ion flows with relativistic electron beams
за авторством: Balakirev, V.A., та інші
Опубліковано: (2005)

Suppression of the superconductivity in ultrathin amorphous Mo₇₈Ge₂₂ films observed by STM
за авторством: Lotnyk, D., та інші
Опубліковано: (2017)

Structural investigation of As-Se chalcogenide thin films with different compositions: formation, characterization and peculiarities of volume and near-surface nanolayers
за авторством: Kondrat, O., та інші
Опубліковано: (2017)

Technologies for repairing of cathode unit of electron beam gun with the use of electron beam welding
за авторством: V. I. Zahornikov, та інші
Опубліковано: (2023)

Electron beam welding of heat exchangers with single and double refraction of electron beam
за авторством: L. A. Kravchuk, та інші
Опубліковано: (2011)

Structure changes in C₆₀-Bi composite films irradiated by accelerated electron beam
за авторством: Vus, A.S., та інші
Опубліковано: (2005)

Cavitation resistance of metal coatings deposited by a high-current relativistic electron beam
за авторством: Ju. F. Lonin, та інші
Опубліковано: (2010)

Structural properties of chalcogenide glasses As2Se3 doped with manganese
за авторством: O. P. Paiuk, та інші
Опубліковано: (2016)

Structural and morphological properties of nanometer carbon films obtained by electron beam sputtering of graphite
за авторством: V. O. Yukhymchuk, та інші
Опубліковано: (2023)

Visualization of electron beam image
за авторством: Boriskin, V.N., та інші
Опубліковано: (2014)

Formation electroexplosion wear and resistance to electrical erosion coatings using electron-beam treatment
за авторством: D. A. Romanov, та інші
Опубліковано: (2014)

Hardness of new boron-rich chalcogenides B12S and B12Se
за авторством: V. L. Solozhenko
Опубліковано: (2021)

Depth equalization of the dose when irradiated by electrons at different angles
за авторством: Rudychev, V.G., та інші
Опубліковано: (2020)