Investigation of SiC films obtained on a porous-Si/Si substrate

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Bibliographische Detailangaben
Datum:2024
Hauptverfasser: V. V. Kidalov, A. F. Dyadenchuk, A. G. Zhuk, O. Y. Gudimenko, S. V. Simchenko
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: 2024
Schriftenreihe:Chemistry, physics and technology of surface
Online Zugang:http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001504130
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Назва журналу:Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

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