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Coupling effects of CH4/H2/Ar gas ratios and hot filament-substrate distance on the growth of nanocrystalline diamond

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2020
Hauptverfasser:	B. Deng, Ts. Vej, M. Ji, I. Luo, L. Li, K. Chzhou, L. Ma
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2020
Schriftenreihe:	Superhard Materials
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001130384
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