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System for controlling mass balance of gases and reagents during formation of ion-plasma coatings

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2020
1. Verfasser:	K. V. Diadiun
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2020
Schriftenreihe:	Scientific Notes of Junior Academy of Sciences of Ukraine
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001223708
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Назва журналу:	Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine \| LibNAS

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