The influence of the bias potential and working gas pressure on the properties of the ion-plasma multilayer coating TiSiN/NbN

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2022
Автори: D. V. Horokh, O. V. Maksakova, C. A. Klymenko, S. V. Lytovchenko, V. M. Beresniev, O. V. Hlukhov
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: 2022
Назва видання:Superhard Materials
Онлайн доступ:http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001367365
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Репозитарії

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Схожі ресурси