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Influence of parameters of magnetron sputtering process on phase composition and structure of carbon nitride coatings

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2022
Hauptverfasser:	Yu. S. Borysov, O. V. Volos, N. V. Vihilianska, V. H. Zadoia, V. V. Strelchuk
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2022
Schriftenreihe:	Automatic Welding
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001369183
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