Proton Beam Writing Device Based on Electrostatic Accelerator for 3D Micro- and Nano-Structure Fabrication

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2019
Автори: A. G. Ponomarev, V. A. Rebrov, S. V. Kolinko
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: 2019
Назва видання:Science and innovation
Онлайн доступ:http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001021001
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Репозитарії

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS