Proton Beam Writing Device Based on Electrostatic Accelerator for 3D Micro- and Nano-Structure Fabrication
Збережено в:
| Дата: | 2019 |
|---|---|
| Автори: | A. G. Ponomarev, V. A. Rebrov, S. V. Kolinko |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
2019
|
| Назва видання: | Science and innovation |
| Онлайн доступ: | http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001021001 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS |
Репозитарії
Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNASСхожі ресурси
-
Using of proton beam writing techniques for fabrication of micro difraction gratings
за авторством: Ponomarev, A.G., та інші
Опубліковано: (2018) -
Vector proton beam writing system
за авторством: Polozhii, H.E., та інші
Опубліковано: (2022) -
Proton beam writing: world experience and prospectives in Ukraine
за авторством: H. Y. Polozhii, та інші
Опубліковано: (2023) -
Resonance proton scattering use for the beam parameters control of the electrostatic accelerators
за авторством: V. I. Soroka, та інші
Опубліковано: (2013) -
Probe formation in proton beam writing facility at IAP NASU
за авторством: Lapin, O.S., та інші
Опубліковано: (2015)