Proton Beam Writing Device Based on Electrostatic Accelerator for 3D Micro- and Nano-Structure Fabrication

Proton Beam Writing Device Based on Electrostatic Accelerator for 3D Micro- and Nano-Structure Fabrication

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2019
Hauptverfasser:	A. G. Ponomarev, V. A. Rebrov, S. V. Kolinko
Format:	Artikel
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2019
Schriftenreihe:	Science and innovation
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001021001
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