Onoprienko, A. A., Ivashchenko, V. I., Kozak, A. O., Sinelnichenko, A. K., & Tomila, T. V. (2019). Deposition and characterization of thin Si–B–C–N films by dc reactive magnetron sputtering of composed Si/B4C target.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Onoprienko, A. A., V. I. Ivashchenko, A. O. Kozak, A. K. Sinelnichenko, und T. V. Tomila. Deposition and Characterization of Thin Si–B–C–N Films by Dc Reactive Magnetron Sputtering of Composed Si/B4C Target. 2019.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Onoprienko, A. A., et al. Deposition and Characterization of Thin Si–B–C–N Films by Dc Reactive Magnetron Sputtering of Composed Si/B4C Target. 2019.
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