Hladkovskiy, V. V., & Fedorovich, O. A. (2017). Spectroscopic studies of RF discharge plasma at plasma-chemical etching of gallium nitride epitaxial structures.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Hladkovskiy, V. V., und O. A. Fedorovich. Spectroscopic Studies of RF Discharge Plasma at Plasma-chemical Etching of Gallium Nitride Epitaxial Structures. 2017.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Hladkovskiy, V. V., und O. A. Fedorovich. Spectroscopic Studies of RF Discharge Plasma at Plasma-chemical Etching of Gallium Nitride Epitaxial Structures. 2017.
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