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Distribution of concentration of impurities and &quot;impurity–vacancy&quot; complexes beyond the range of ions during implantation

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2017
Hauptverfasser:	V. Y. Suhakov, A. A. Cherniuk
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2017
Schriftenreihe:	Nuclear physics and atomic energy
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000745612
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