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Formation of flat surfaces of optoelectronic components in diamond polishing

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2017
Hauptverfasser:	Ju. D. Filatov, V. I. Sidorko, S. V. Kovalev, A. G. Vetrov
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2017
Schriftenreihe:	Superhard Materials
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000850127
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