Filatov, J. D., Sidorko, V. I., Kovalev, S. V., Kovalev, V. A., Jurchishin, J., & Vetrov, A. G. (2016). Precision shaping flat surfaces details of optics and microelectronics when polishing.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Filatov, Ju. D., V. I. Sidorko, S. V. Kovalev, V. A. Kovalev, Ja Jurchishin, und A. G. Vetrov. Precision Shaping Flat Surfaces Details of Optics and Microelectronics When Polishing. 2016.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Filatov, Ju. D., et al. Precision Shaping Flat Surfaces Details of Optics and Microelectronics When Polishing. 2016.
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